5nm刻蚀机!中微正式官宣,重要性堪比光刻机

2021年11月19日 11点热度 0人点赞 0条评论

文|科技在前方

芯片的制作是一项非常繁琐的工艺,而芯片的体积越小就证明芯片越先进,对制造芯片的设备要求越高。目前来说,我国的芯片发展相比以前提速了很多,但仍是我国的最大短板,与世界上先进的芯片存在着很大的差距。

其实,我国并不是不具备制造芯片的技术与生产芯片的能力,只是我国在芯片的发展较晚,因此落后于国际上的先进芯片。

比如,2020年台积电和三星5nm工艺开始普及,我国大陆芯片制造商中芯国际才量产14nm芯片,然而时隔一年多,中芯国际7nm即将在4月份进行风险试产,而且梁孟松还透露,5nm和3nm最关键也最困难的八大项技术也已经有序展开。

一旦ASML的EUV光刻机到位,那么中芯国际的芯片制程将再次突飞猛进,5nm、3nm也不成问题。说白了我国还是缺乏制造先进芯片的EUV光刻机设备,因此在制造芯片的时候精度无法达到要求,就算能突破的话没有更先进的EUV光刻机设备也是于事无补。

但芯片制造是一项非常复杂的工作,一颗芯片要想从PPT到成品,核心设备并非光刻机一种,刻蚀机的重要性不言而喻。可能大家还分不清楚,光刻机和刻蚀机的区别,通俗的讲,光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机则是继续对这些电路结构进行雕刻般的细微调整,将画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉。

也就是说,这些细微调整将是直接影响芯片的性能关键步骤。打个比方,“假如光刻机是照相机,那么刻蚀机就是显影设备”,这样说大家应该明白了吧。由此可见,在芯片制造过程中,刻蚀机的重要性堪比光刻机。

提到刻蚀机,不得不说的就是中微半导体和尹志尧,正如提到华为,首先想到的是任正非,提到中芯国际,梁孟松会映入眼帘一样。

要知道,2004年,尹志尧早已在美国功成名就,并先后在应用材料领域获得了60多个美国和国外的专利,他所开发或参与开发的产品,在这个领域占了几乎全世界的50%,被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

60岁的尹志尧本可以在美国安享晚年,但是他却放弃美国的百万年薪,毅然决然的做了一个吃惊的决定,回中国创业。于是他冲破美国的层层审查,所有的工艺配方、设计图纸都被美国没收,带领着三十多人的团队回到中国。只因一句,学成只为他日归来报效祖国,势必要为中国半导体事业做出贡献。

就这样,尹志尧只顶着一个脑袋回到了中国,创办了中微半导体公司。本以为在临行前,美国清查了尹志尧的电脑、没收了他所有的设计图纸和工艺配方就会万事大吉,没成想多年后,国内刻蚀机设备就已实现突围。

2015年,美国宣布解除等离子刻蚀机对中国的出口限制,理由是中国已经可以生产相同水平的设备。直到2020年,中微半导体成为全球第一家成功研制出5nm精度刻蚀机的企业,并获得了台积电认可,用于台积电5nm芯片工艺生产线。

然而就在近日,根据4月6日权威媒体报道,中微正式官宣,该公司研发的等离子刻蚀机设备已经进入客户的5nm生产线。其中,中微开发的12英寸高端刻蚀机设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5nm及5nm以下器件中若干关键步骤的加工。

需要了解的是,5nm工艺是目前最先进的芯片工艺技术,全球也仅有两家掌握该工艺的技术,分别是台积电和三星。这也就意味着,中微研发出的5nm刻蚀机已经进入到台积电或三星5nm生产线。

虽说在半导体设备领域当中,中国光刻机的技术水准相比海外要晚好几代,但目前刻蚀机是我国最具有优势的半导体设备领域,而且重要性也是相当重要。数据显示,我国蚀刻设备的国产化率已经达到20%以上,而且国产蚀刻机的市场规模也在随着中国半导体市场规模的扩张不断提升。

总的来说,中国芯片产业起步晚,长时间都受制于人。要想打破国外垄断就必须加强整个产业链的研发,这其中就包括光刻机、刻蚀机、EDA软件等。正所谓,千里之行始于足下,相信用不了三五年中国半导体产业将焕然一新。

大家对此有何看法呢?欢迎讨论!

科技在前方:中企加油!

惠诗9R:中国企业

柚乐居家具:中企是什么?

充满阳光Uy6Vd:没有法子啦,只能胡说八道了。有人相信吗

jsxybyq:我信

惠诗9R:蚀刻机我们中微真的不差

天至高则没有鸟的羽:只要不是骗取国家的补贴,那怕是有一点儿科技进步,我们都支持并以你而自豪!

一舞T1WMg:一键送三连,期待下期更精彩~

科技在前方:[作揖]

狂爱米修:向我们的科技工作者致敬!

淡慕桖靖zI:请善待科技人材、科学家

EngPeng9999:蚀刻机有技术含量不错,但和光刻机还是差几个数量极。

宇宙yuzhounan:凡事都怕认真……[抠鼻]!凡是被卡脖子的事都要认真……[微笑]

中国公民ca:标题是怎么得出来的?

春颐真3o:被万分怀疑?看看大A的表现就是答案?

蓝剑特种大队:天天放卫星。

gsmaji365:老尹神人也

阳飇ck:跟老子继续吹

储晓星AF:光说不练嘴把式!

道止一游4s:时刻准备着为突破瓶颈长出一口气

追逐梦想的于:别吹牛了,好好工作,天天向上

欢乐每一年2019:哎,感慨科技发展的重要性,感谢科技人员

喵星人麦兜:我想知道,5M是什么意思,求科普

柳青河畔:不说多做

奋斗Leozhou:真的假的说的

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科技在前方

这个人很懒,什么都没留下